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一、操作前准备
1.设备检查
检查真空系统（机械泵、扩散泵、罗茨泵等）是否正常
确认炉体密封性（O型圈、法兰、阀门无泄漏）
检查冷却水系统（流量、压力是否达标）
确保加热元件（如石墨、钼丝）无损坏
2.工件准备
清洁工件表面，去除油污、氧化皮等杂质
避免使用含锌、镉等易挥发金属的镀层
合理装炉，避免工件接触加热元件或炉壁
3.工艺参数设定
根据材料要求设定升温曲线、保温时间、冷却方式
确定真空度要求（低真空：10⁻¹~10⁻³ Pa；高真空：≤10⁻⁴ Pa）
二、操作流程
1.抽真空
先启动机械泵抽至低真空（10⁻¹~10⁻² Pa）
再启动扩散泵（若需高真空，需预热20~30分钟）
达到目标真空度后，方可开始加热
2.加热阶段
按预设程序升温，避免过快导致热应力开裂
在低温阶段（<600℃）适当通入惰性气体（如Ar、N₂）以减少挥发
监控炉内压力，防止材料挥发污染炉膛
3.保温阶段
保持设定温度和时间，确保组织均匀化
持续监测真空度，必要时补充惰性气体
4.冷却阶段
气淬：通入高纯惰性气体（如N₂、Ar）快速冷却
油淬：适用于部分合金钢，需使用真空淬火油
炉冷：关闭加热，自然冷却至安全温度（<150℃）
5.破空取件
冷却至安全温度后，缓慢充入空气至常压
避免快速破空导致工件氧化或炉体损伤
总结：真空炉热处理的关键在于真空控制、温度精准、冷却合理。操作时需严格遵循工艺曲线，确保设备安全，才能获得理想的热处理效果。
