一、安全操作规范
气体安全
使用易燃易爆气体(如H₂、CH₄)时,必须确保管路密封性,安装气体泄漏报警装置
操作前需进行气密性检测,工作区域保持良好通风
氢气使用浓度需控制在爆炸极限(4%-75%)之外
防爆措施
炉体应配备防爆装置和安全泄压阀
在通入可燃气体前,必须先抽真空或用惰性气体置换3次以上
设置气体自动切断系统,在异常情况下能立即切断气源
二、工艺控制要点
温度管理
严格按照材料工艺曲线控制升温/降温速率
避免超过加热元件额定温度(如硅碳棒≤1450℃)
定期校准热电偶,确保测温准确性
气氛控制
根据工艺要求有效控制气体比例和流量
保持炉内微正压(50-200Pa)防止空气倒灌
使用高纯气体(纯度≥99.999%)并配置气体净化装置
三、设备维护要求
日常维护
每次使用后清理炉膛,避免残留物影响下次实验
定期检查加热元件、热电偶等易损件状态
保持冷却系统(水冷套、风机等)正常运行
定期保养
每季度检查真空系统密封性能
每半年校准一次温度控制系统
每年重点检修电气系统和机械部件
遵循这些注意事项可确保气氛炉安全稳定运行,延长设备寿命,同时保证操作人员和实验样品的安全。每次使用前应仔细检查设备状态,严格按操作规程执行。