沉积炉开炉温度指南

一、开炉温度的关键作用

沉积炉升温后何时开炉，就像烘焙蛋糕时决定何时打开烤箱门——太早会塌陷，太晚可能烤焦。对于多数沉积工艺，炉温降至300-400℃时开炉较为合适。这个温度区间既能保证沉积层稳定，又避免高温开炉导致的材料氧化或热应力损伤。

二、温度选择的三大考量

1. 材料特性：不同基材对温度敏感度差异大，金属件通常比陶瓷件能承受更高开炉温度

2. 沉积类型：化学气相沉积（CVD）比物理气相沉积（PVD）需要更严格控温

3. 工艺要求：精密器件往往需要更低开炉温度来保证尺寸精度

三、操作中的实用技巧

实际操作时建议分步观察：先让炉体自然降温至目标区间，打开观察窗检查沉积层状态。若表面均匀无裂纹，可逐步开启炉门。记住用红外测温仪实时监控，避免温度骤变。初始尝试新工艺时，建议从较高温度开始测试，逐步优化至理想开炉点。