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炉体：加热区、保温层
加热元件：电阻丝（如Kanthal）、硅碳棒、硅钼棒等
炉管：石英管（≤1200℃）、刚玉管（≤1600℃）、不锈钢管（≤1000℃）
控制系统：温控仪、程序设定、热电偶（K型、S型等）
气路系统（可选）：进气阀、流量计、尾气处理装置
真空系统（可选）：机械泵、分子泵
✅ 电源检查：确认电压（220V/380V）与设备匹配，接地良好
✅ 炉管检查：无裂纹、无污染，确保密封性（O型圈完好）
✅ 气路检查（如使用气氛）：气瓶压力正常，管路无泄漏
✅ 热电偶位置：插入深度合适（通常位于炉管中间）
样品需干燥、无挥发性物质
使用合适的坩埚（石英、刚玉、石墨等）
样品不宜堆积过多，确保气流均匀
确保炉管两端固定牢靠
使用耐高温密封垫（如石墨垫片）
如通入保护气体，需检查气密性（可用肥皂水检测）
接通电源，打开控制面板
设置温度程序（以PID控制器为例）：
手动模式：直接设定目标温度（如1000℃）
程序模式（多段控温）：
① 室温 → 300℃（升温速率5℃/min）
② 300℃ → 800℃（升温速率10℃/min）
③ 800℃保温2小时
④ 800℃ → 室温（自然冷却或设定降温速率）
启动加热（按“RUN"键）
惰性气体（N₂、Ar）：
先抽真空（如设备支持）
通入气体（流量通常5~20 sccm）
保持微正压（防止空气进入）
还原性气体（H₂）：
需特别注意安全，尾气点燃或使用氢气球检测泄漏
观察温度曲线，确保升温稳定
记录关键参数（温度、时间、气体流量）
异常处理：
温度不升 → 检查加热元件、热电偶
温度波动大 → 调整PID参数（可尝试自整定）
漏气 → 立即关闭气源，检查密封
程序结束后，炉温降至<200℃ 再打开炉管
关闭气路（如使用气氛）
关闭电源，填写设备使用记录
