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还原炉雾化导致硅芯脱落的原因

 更新时间:2025-04-14 点击量:166

一、硅芯氧化

在硅材料的生产过程中,硅芯在还原炉里是一个关键部件,然而它很容易受到氧化作用的影响。当硅芯表面存在氧化物时,情况会变得较为复杂。还原炉中使用的雾化气流,在接触到有氧化物的硅芯表面后,会形成一个个气泡。这些气泡并非均匀分布,而是会在某些区域聚集,使得硅芯表面原本就可能存在的微小缺陷进一步加大。随着缺陷的不断累积和扩展,硅芯与周围结构的结合力逐渐减弱,最终导致硅芯脱落。

为了有效减少硅芯氧化现象,可以采用氮气作为雾化气体。氮气是一种化学性质稳定的气体,它能够在硅芯表面提供惰性气体氛围。在这种氛围下,硅芯表面与氧气等氧化性物质的接触机会大大减少,从而降低了氧化物产生的可能性,保障了硅芯的稳定性和完整性。

二、还原炉内气体成分

还原炉内气体成分同样是影响硅芯稳定性的一个重要因素。还原炉中的雾化气体成分必须保持稳定,并且需要充分混合。只有气体成分稳定且混合均匀,才能保证硅芯表面的气泡均匀分布,避免因气泡分布不均而产生的应力集中,进而防止硅芯脱落。


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